<span style="font-size: 16px;">新建网页 1</span>
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中文名称： |
白光干涉仪 |
英文名称： |
white light interferometer |
仪器编号： |
02306672 |
仪器型号： |
ER230 |
生产厂家： |
板石智能科技（深圳）有限公司 |
放置位置： |
先进制造大楼东楼奥102集成电路测量装备研究中心 |
功能介绍
测量各类样品的表面微观形貌、微观轮廓、表面粗糙度及其分析等。
主要技术参数
（1）窜轴扫描范围：5000耻尘
（2）最大扫描速度：400耻尘/蝉
（3）搁惭厂重复性：＜0.005苍尘
（4）1-σ，12μ尘台阶高度重复性：＜3耻尘/0.025%
（5）1-σ，12耻尘台阶高度准度：＜10苍尘/0.08%
（6）被测物体反射率：0.02%-100%
（7）横向分辨率几百苍尘
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