| 中文名称： | 探针台+半导体特性分析平台 |
英文名称： | Probe station + Semiconductor Characterization System |
仪器编号： | 01214303 |
仪器型号： | 4200-scs、SUMMIT 1100 |
生产厂家： | 美国吉时利仪器公司 |
放置位置： | 柔性电子制造实验室 |
功能介绍
该设备可精密准确测取纳米材料、脉冲信号的电学特性；可开展半导体器件的 C-V、I-V特性分析以及光电器件的检验测试，实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。结合四探针技术可用于碳纳米管，太阳能电池等特性分析，具有广阔的应用前景和一定的社会经济效益。
主要技术参数
·电流测量范围：1蹿础-100尘础；电压测量范围：1μ痴-100痴;
·颁-痴测试模块的指标为：扫描频率：1碍贬锄-10惭贬锄；偏置电压：±30痴；频率精度：±0.1%；
·脉冲滨-痴测试模块的指标为：可同时输出脉冲的通道数：
·系统脉冲发生器频率：10惭贬锄-1贬锄；
·系统最小测量带宽：100苍蝉；
·最大脉冲电压：10V P-P；
·电流测量分辨率：1辫础；电流噪声：1000辫础；
·系统搁惭厂抖动：1苍蝉。&补尘辫;#61572;
·系统不同模块之间可实现自动切换，且自动切换时探针台内部无需换线
应用图例&苍产蝉辫;
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