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| 中文名称： | 波面干涉仪 |
英文名称： |
Laser Phase-shifting Interferometer |
仪器编号： |
00811591 |
仪器型号： |
GPI XP/D |
生产厂家： | 美国
Zygo公司 |
放置位置： | 精密测量实验室顿104 |
功能介绍
运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形、曲率半径等的测量和分析。
主要技术参数
·测量光束直径：φ102mm 反射率： 0.1% - 100%
·平板重复性：
1/300λ（2σ）
·RMS重复性：
1/10,000λ（2σ）
·数据采样：
640×480 像素，8位 可选：1K x 1K像素
·分辨率：
>λ/8,000； 条纹分辨率 180条纹
·数据采样时间：低分辨率(7幅数据图像)
93 ms ；高分辨率(13幅数据图像)
173 ms
研究应用成果展示
基于本设备开展的研究工作有：实现无衍射光盾构位姿测量系统中的关键光学元件测试，指导完成该系统光学系统的装配；对角膜样品形貌及其微变形进行精密检测，指导新型角膜微变形测量系统的理论与实验研究；提出了二维高稳定镜架微小角度变化的测量方法，其测量精度高达±0.1μ谤补诲，实现了对高稳定镜架的温度稳定性检测。
本设备研究项目支撑情况：973国家重点基础研究发展计划（2007颁叠714000）全断面大型掘进装备设计制造中的基础科学问题，课题编号（2007颁叠714005）掘进系统的位姿测量与自动导向；国家自然科学基金项目“一种新型角膜微变形测量系统及关键理论与技术研究”（50975112）
研究成果已应用于高精度薄膜测厚仪，显着提高了仪器测量的稳定性。
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