911制品厂麻花
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智能制造装备与技术全国重点实验室
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陈蓉
教授
电 话
027-87558744
邮 箱
rongchen@hust.edu.cn
办公地点
个人主页
个人介绍
陈蓉,911制品厂麻花副院长、教授、博士生导师。中国科学技术大学学士,美国斯坦福大学硕士、博士。国家重大人才工程特聘教授(2023),国家级创新领军人才(2019),海外高层次青年人才(2011)。科学探索奖、中国青年科技奖、求是杰出青年成果转化奖获得者。 陈蓉教授曾就职于美国应用材料、英特尔研究院,荣获SRC Simon Karecki奖、德州仪器微电子领域女性领袖奖等。回国后带领团队从事原子级制造原理方法与工艺装备研究,形成了以原子层沉积为核心的理论-工艺-装备-应用体系,成功应用于芯片、显示等领域。主持国家重点研发计划颠覆性创新项目、国基金重点项目、973青年项目等。发表SCI论文200余篇,主编撰写《原子层沉积技术-从制造原理到装备应用》中英文出版物5部,获授权发明专利100余件。以排名第一荣获湖北省技术发明一等奖两项、省专利奖、全国颠覆性技术创新大赛优胜奖、入选“科创中国-先导技术榜单“两次等,主持编撰“原子层沉积”等4项国际标准,已发布一项。
研究方向
研究方向为原子级制造,主要用实验手段研究纳米材料、纳米器件、和其工艺过程的研究,以及用它们来解决未来能源和电子工业所即刻面临的挑战。研究的重点在于控制材料的生长、结构、及其性能,用于制造和表征具有精确的物质组成、以及原子尺度上可控的纳米结构,并且将其整合成纳米器件。具体的研究领域包括: 选择性原子层沉积方法 纳米颗粒制备与改性 柔性电子制造薄膜生长工艺与装备 光电显示、光电转换器件制备与开发 具体内容可参见http://www.materialssimulation.com/
开设课程
本科生课程: 《纳米技术导论》24/32, 公选课《生活中的纳米技术》12/32 《先进电子制造I》下 10/64 研究生课程: 《薄膜技术》16/32 《先进制造工程学》4/64(博士生)慕课
科研项目
主持基金与项目 在研: 1.国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目(52350349),185万,负责人 2.国家重点研发计划颠覆性技术创新项目(2022YFF1500400) ,1000万,负责人 3.科学探索奖项目,300万,负责人 4.华中科技大学自主创新研究项目,150万,负责人 5.横向产学研项目,595万,负责人 结题: 1.国家自然科学基金重点项目(51835005),351.8万,项目负责人 2.973国家重大科学研究计划青年项目(2013CB934800),476万,首席科学家 3.制造基础技术与关键部件国家重点研发计划,76.2万,课题研究任务负责人 4.国家自然科学基金面上项目(51575217),79.2万,项目负责人 5.国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(51911540476),9万,负责人 6.湖北省自然科学基金创新群体项目(2020CFA030),50万,负责人 7.湖北省自然科学基金杰出青年基金项目(2015CFA034),20万,负责人 8.武汉市高价值专利组合培育项目(20201G06),100万,负责人 9.武汉市应用基础前沿项目 (2018010401011286),50万,负责人 10.横向产学研项目(YBN2019105148),69.66万,负责人 11.宁德时代新能源科技股份有限公司产学研合作项目,150万,负责人 12.威孚环保产学研合作项目,30万,负责人 13.华星光电产学研合作项目,50万,负责人 14.无锡市高价值专利培育示范计划项目(C102-2020010),100万,负责人 15.无锡市“凤还巢”创新创业支持计划(C102-2020010),100万,负责人 16.华中科技大学自主创新研究基金-重点项目(2016YXZD065),50万,负责人 1+.华中科技大学自主创新研究基金-重点项目(2019kfyXMBZ025),65万,负责人 18.数字制造装备与技术国家重点实验室自主课题(0225100102)重点项目,30万,负责人 19.数字制造装备与技术国家重点实验室自主课题(0225100063)重点项目,30万,负责人 20.数字制造装备与技术国家重点实验室自主课题(0225100053)重点项目,50万,负责人
论文专着与专利
代表性论文: [1] Yicheng Li#, Zilian Qi#, Yuxiao Lan, Kun Cao*, Yanwei Wen, Jingming Zhang, Eryan Gu, Junzhou Long, Jin Yan, Bin Shan, Rong Chen* “Self-Aligned Patterning of Tantalum Oxide on SiO2/Cu through Redox-coupled Inherently Selective Atomic Layer Deposition” Nature Communt. 2023, 14, 4493. [2] Rong Chen*, Kun Cao, Yanwei Wen, Fan Yang, Jian Wang, Xiao Liu, Bin Shan “Atomic layer deposition in advanced display technologies: from photoluminescence to encapsulation” Int. J. Extrem. Manuf. 2024, 6, 022003. [3] Zoushuang Li, Yuanxiao Chen, Yufeng Nie, Fan Yang, Xiao Liu, Yuan Gao, Bin Shan, Rong Chen* “Multiscale Computational Fluid Dynamics Modelling of spatial ALD on porous Li-ion battery electrodes” Chem. Eng. J. 2024, 479, 147486. [4] Xiao Liu, Shuangfeng Jia, Ming Yang, Yuanting Tang, Yanwei Wen, Shengqi Chu, Jianbo Wang, Bin Shan*, Rong Chen*, “Activation of subnanometric Pt on Cu-modified CeO2 via redox-coupled atomic layer deposition for CO oxidation” Nature Comm. 2020, 11, 4240. [5] Jianfeng Wanyan, Kun Cao, Zhiping Chen, Yun Li, Chenxi Liu, Runqing Wu, Xiao-Dong Zhang*, Rong Chen* “Predictive tool for sensitive and expedited measurement of ultra-barrier permeation” Engineering 2021, 7 (10), 1461. [6] Yuanjie Cao, Haoyang Peng, Shengqi Chu, Yuanting Tang, Chaojun Huang, Zhili Wang, Feng Liu, Jinsong Wu, Bin Shan, Rong Chen* “Molten-salt-assisted Thermal Emitting Method to Transform Bulk Fe2O3 into Fe Single Atom Catalysts for Oxygen Reduction Reaction in Zn-air battery” Chem. Eng. J. 2021, 129713. [7] Zoushuang Li, Junren Xiang, Xiao Liu, Xiaobo Li, Lijie Li, Bin Shan, Rong Chen* “A combined multiscale modelling and experimental study on surface modification of high-volume micro-nanoparticles with atomic accuracy” Inter. J. Extreme Manufacturing 2022, 4, 025101. [8] Rong Chen*, Yicheng Li, Jiaming Cai, Kun Cao, Han-Bo-Ram Lee “Atomic Level Deposition to Extend Moore’s Law and Beyond” Inter. J. Extreme Manufacturing 2020, 2, 022002. (invited topic review) [9] Yun Li#, Di Wen#, Yinghao Zhang, Yuan Lin, Kun Cao, Fan Yang*, Rong Chen* “Highly-stable PEN as gas-barrier substrate for flexible displays via atomic layer infiltration” Dalton Trans. 2021, 50, 16166. [10] Zoushuang Li, Cao Kun*, Xiaobo Li, Rong Chen* “Computational fluid dynamics study on spatial atomic layer deposition for the conformality of microgroove substrates” Inter. J. Heat Mass Transfer 2021, 181, 121854. [11] Ming Zhao, Kun Cao, Mengjia Liu, Jing Zhang, Rong Chen*, Zhiguo Xia* “Dual-shelled RbLi(Li3SiO4)2:Eu2+@Al2O3@ODTMS phosphor as a stable green emitter for high-power LED Backlights” Angew. Chem. Int. Ed. 2020, 59, 2. [12] Binze Zhou, Mengjia Liu, Yanwei Wen, Yun Li, Rong Chen* “Atomic Layer Deposition for Quantum Dots based Devices” Opto-Electronic Advances 2020, 3, 190043. (invited review, cover) [13] Yun Li, Yingfei Xiong, Huizhi Yang, Kun Cao, Rong Chen*, “Thin film encapsulation for the organic light-emitting diodes via atomic layer deposition” J. Mater. Res. 2020, 35, 681. (invited review, cover) [14] Kun Cao, Jiaming Cai, Bin Shan, Rong Chen*, “Nanoparticles surface functionalization through atomic layer deposition” Sci. Bulletin 2020, 65, 678. (invited review) [15] Kun Cao, Jiaming Cai, Rong Chen* “Inherent selective atomic layer deposition and applications” Chem. Mater. 2020, 32, 2195. (invited perspective) [16] Wentao Cong, Zoushuang Li, Kun Cao, Guang Feng, Rong Chen* “Transient analysis and process optimization of the spatial atomic layer deposition using the dynamic mesh method” Chem. Eng. Sci. 2020, 217, 115513. [17] Xiao Liu, Jiaqiang Yang, Gurong Shen, Meiqing Shen, Yunkun Zhao, Kyeongjae Cho, Bin Shan* and Rong Chen*, “Tuning the structure of bifunctional Pt/SmMn2O5 interface for promoted low-temperature CO oxidation activity” Nanoscale, 2019, 11, 8150. (cover article) [18] Yanwei Wen, Jiaming Cai, Jie Zhang, Jiaqiang Yang, Lu Shi, Kun Cao, Rong Chen* and Bin Shan* “Edge selective growth of MCp2 (M=Fe, Co, Ni) precursors on Pt nanoparticles in atomic layer deposition: a combined theoretical and experimental study” Chem. Mater., 2019, 31, 101. (cover article) [19] Qinyong Xiang, Binze Zhou, Kun Cao*, Yanwei Wen, Yun Li, Zhaojie Wang, Chenchen Jiang, Bin Shan, Rong Chen* “Bottom up Stabilization of CsPbBr3 Quantum Dots-Silica Sphere with Selective Surface Passivation via Atomic Layer Deposition” Chem. Mater. 2018, 30(23): 8486 [20] Rong Chen*, Kai Qu, Jiawei Li, Penghui Zhu, Chenglong Duan, Jing Zhang, Xiwen Li, Xiao Liu*, Zhijian Yang “Ultrathin Zirconia Passivation and Stabilization of Aluminum Nanoparticles for Energetic Nanomaterials via Atomic Layer Deposition” ACS Appl. Nano Mater., 2018, 1, 5500.
荣誉获奖
1.2024年 2023年度湖北省技术发明一等奖 2.2024年 2023年“科创中国”系列先导技术榜单 3.2023年 第二十五届中国科协求是杰出青年成果转化奖 4.2022年 第十七届中国青年科技奖 5.2021年 中国工程院-中国工程前沿杰出青年学者 6.2021年 全国颠覆性技术创新大赛优胜奖 7.2021年 第三届“科学探索奖(先进制造)”获得者 8.2021年 华中科技大学“国际交流与合作先进个人” 9.2020年 “湖北省女性科技创新人才” 10.2020年 华中科技大学“外事先进个人” 11.2019年 华中科技大学师德先进个人 12.2019年 华中科技大学重大学术进展 13.2018年 湖北技术发明一等奖 14.2018年 第46届日内瓦国际发明展评审团特别嘉许金奖 15.2017年 第十二届中国硅酸盐学会青年科技奖提名奖 16.2016年 华中科技大学2016年度知识产权奖 17.2016年 中国侨界“创新人才”贡献奖 18.2016年 第44届日内瓦国际发明展金奖,泰国国家研究评议会国际发明特别优异奖 19.2016年 中青年科技创新领军人才计划获得者 20.2015年 湖北省杰出青年基金获得者 21.2009年 教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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