911制品厂麻花
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工艺装备及自动化系
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甘志银
教授
电 话
027-87542604
邮 箱
ganzhiyin@hust.edu.cn
办公地点
个人主页
个人介绍
甘志银(Gan Zhiyin,Professor),华中科技大学教授。1987在天津南开大学物理系取得学士学位,1990年在北京工业大学应用物理系取得硕士学位。1992年到2002年,先后在北京、深圳以及武汉工作并从事光电领域研究。2003年6月调入911制品厂麻花以及武汉光电国家实验室成为副教授,同时开始攻读博士学位。于2008年被授予物理电子学博士学位,2010年成为教授。目前主要从事计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造等研究。作为技术带头人主导的MOCVD设备已获得广东省科技厅科技成果鉴定“国际先进”评价,该设备也已进入产业化阶段,实现了市场突破。
研究方向
微纳材料与器件设计与仿真 半导体工艺装备设计与制造
开设课程
微机电系统基础与应用 微纳系统仿真 工程光学 量子力学
科研项目
承担的科研项目: 1. 国家重大科研仪器研制项目“薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置”(51727901) 2018.01-2022.12 国家自然科学基金重大课题。 2. 广东省项目“芯片制造设备核心部件研发及制造的子课题4英寸MBE系统的研制” 2019.10-2022.10 广东省重大项目 3. MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控(“973计划”2011CB013100-G子课题)2011.11-2016.11 科技部(720万) 4. 半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制(2009A011602004) 2009.10-2012.02 广东省科技厅(150万) 5. 高产能智能MOCVD设备的研制及产业化(2011A081301007)2011.11-2013.11 广东省科技厅(2000万) 6. 基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究51075171 国家自然科学基金面上项目2011.01-2013.12(22.8万) 7. 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究2007AA04Z348 863先进制造领域 2007.12-2009.8 (39万) 8.100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化2008AA03A184 863先进制造领域2009.01-2012.12 (40万)
论文专着与专利
代表性著作: 1. Zhiyin Gan, Dexiu Huang, Xuefang Wang, Dong Lin, Sheng Liu. “Getter free vacuum packaging for MEMS”, Sensors and Actuators A: Physical, 149(1), 2009: 159 ~ 164. 2. Tingkai Zhang, Honghai Zhang, Jian Xu, Sheng Liu, Zhiyin Gan. “Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes”, Sensors and Actuators A: Physical, 157(1), 2010: 168 ~ 172. 3. Hui Cao, Zhiyin Gan, Qiang Lv, Han Yan, Xiaobin Luo, Xiaohui Song and Sheng Liu. “Single-walled carbon nanotube network/poly composite thin film for flow sensor”, Microsystem Technologies, 16(6), 2010: 955 ~ 959. 4. C. MingXiang, Y. Xingjian, G. Zhiyin and L. Sheng. "Reliability of Anodically Bonded Silicon-glass Packages", Sensors and Actuators, 120(1), 2005: 291 ~ 295. 5. Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Computational study of thermocompression bonding of carbon nanotubes to metallic substrates,” Journal of Applied Physics 106:104308. 6. Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Controllable fabrication of carbon nanotube-polymer hybrid thin film for strain sensing,” Microelectronic Engineering 86:2330-2333. 7. Song X. H., Liu S., Yan H., and Gan Z. Y., (2009), “First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes,” Physica E 41:626-630 8. Wang, P., Gan, Z. Y. and Liu, S. (2009), “Improved light extraction of GaN-based light-emitting diodes with surface-patterned ITO,” Optics & Laser Technology 41: 823-826. 9. Gan, Z. Y., Yan, H., Song, X. H., Lv, Q., Cao, H., Xu, J. P., Liu, S. (2009) “Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer,” International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation.10(5): 557-562. 10. Yan, H., Gan, Z. Y., Song, X. H., Chen, Z. H., Xu, J. P., Liu,S. (2009) , “Adsorption configuration of magnesium on wurtzite gallium nitride surface using first-principles calculations,” Physica B 404:3594-3597. 11. Yan, H., Gan, Z. Y., Song, X. H., Lv, Q., Xu, J. P., Liu, S. (2009), “Car-Parrinello simulation of initial growth stage of gallium nitride on carbon nanotube,” Physica E 41:1143~1146 .
荣誉获奖
2006年 华中科技大学优秀青年教工
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