911制品厂麻花
911制品厂麻花
学院概况
学院介绍
现任领导
组织机构
理论学习
党务动态
共青团
工会组织
学习参考
资料汇编
其他群团
师资队伍
院士风采
教师名录
研究生导师
实验工程人员
博士后
离退休人员
人才招聘
常用下载
人才培养
本科生教育
研究生教育
学生工作
机械创新基地
常用下载
科学研究
科研动态
安全管理
设备开放
科研成果
常用下载
社会服务
驻外研究院
产业公司
合作交流
专家来访
师生出访
项目合作
国际会议
常用下载
校友专栏
校友动态
杰出校友
校友名录
校友照片
服务校友
常用下载
911制品厂麻花
学院概况
学院介绍
现任领导
组织机构
理论学习
党务动态
共青团
工会组织
学习参考
资料汇编
其他群团
师资队伍
院士风采
教师名录
研究生导师
实验工程人员
博士后
离退休人员
人才招聘
常用下载
人才培养
本科生教育
研究生教育
学生工作
机械创新基地
常用下载
科学研究
科研动态
安全管理
设备开放
科研成果
常用下载
社会服务
驻外研究院
产业公司
合作交流
专家来访
师生出访
项目合作
国际会议
常用下载
校友专栏
校友动态
杰出校友
校友名录
校友照片
服务校友
常用下载
师资队伍
院士风采
教师名录
研究生导师
实验工程人员
博士后
离退休人员
人才招聘
常用下载
911制品厂麻花
-
师资队伍
-
教师名录
-
单位列表
-
机械电子信息工程系
- 正文
刘世元
教授
电 话
027-87559543
邮 箱
shyliu@hust.edu.cn
办公地点
个人主页
个人介绍
刘世元（Liu Shiyuan，Professor），机械科学与工程学院、光学与电子信息学院双聘教授，博士生导师；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才，湖北省“纳米光学测量技术与仪器”创新群体负责人；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任，武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，中国微米纳米技术学会理事，中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员，中国机械工程学会微纳制造技术分会常务委员，中国光学学会光学测试专业委员会委员，湖北省仪器仪表学会副理事长。 主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作，致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合，强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金（7项，包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目）、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励，发表学术论文200余篇，获授权国际国内发明专利100余件，国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化，在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头公司获得批量应用。 纳米光学测量研究中心主页：http://nom.mse.hust.edu.cn/ 个人主页：http://nom.mse.hust.edu.cn/
研究方向
1.?集成电路IC制造在线测量检测技术与装备 面向集成电路(IC)制造中的工艺控制和良率管理，采用可见光、极紫外(EUV)、X射线等光束，结合偏振、散射、光谱、相位等信息，研究纳米薄膜、纳米结构关键尺寸(CD)、套刻误差等三维形貌测量新原理，探索光刻掩模与有图形晶圆的纳米缺陷检测新方法，解决IC制造在线形貌测量与缺陷检测装备中的“卡脖子”技术难题。 2. 光刻成像理论与计算光刻技术 发展深紫外(DUV)和极紫外(EUV)光刻部分相干成像理论，研究包含三维掩模、全矢量光刻成像、三维光刻胶等模型在内的全光刻过程严格建模及快速计算方法，开发光学临近校正(OPC)、光源掩模优化(SMO)、逆光刻技术(ILT)等高效鲁棒算法，解决IC制造中将芯片设计转化为芯片产物的“卡脖子”技术难题。 3.?新型椭偏仪研制与半导体光电材料表征测量 研制穆勒矩阵椭偏仪、成像椭偏仪、层析椭偏仪、深紫外椭偏仪、极紫外椭偏仪、红外椭偏仪、太赫兹椭偏仪、超快椭偏仪、高速斯托克斯偏振仪、片上型椭偏仪等新型椭偏仪器，实现石墨烯、过渡金属硫族化合物、黑磷、硅烯等新型二维材料，以及IC、LED、OLED、PV、柔性电子等新型半导体光电材料的电学、光学、力学、动力学等物理特性表征测量。 4.?薄膜光电器件与新型偏振器件建模计算及优化设计 面向多层纳米薄膜与纳米结构的有机发光显示、柔性显示、有机光伏、钙钛矿太阳能电池等薄膜光电器件，发展高效鲁棒的光学建模计算与优化设计方法，提升器件的光学耦合效率和能量转化效率。采用新型双折射、手性、各向异性材料，引入超材料、超表面等纳米结构，优化设计并研制新型偏振器件。 研究生招生 真诚欢迎勤奋好学、能吃苦、肯动脑筋、有责任心的同学加入，攻读博士学位或硕士学位。希望有意加入的同学具有扎实的数理基础，具有但不局限于数学、物理、光学、仪器、机械、材料、集成电路、人工智能等学科背景，学习和自学能力强，能熟练运用英文进行论文写作与交流，对微纳米测量技术深有兴趣。希望在这个严谨认真而又宽松和谐的集体里，度过充实而有意义的科研学习时光。 博士后招聘 研究中心希望招聘博士后3名，招聘信息长年有效，有意者请发来个人简历及论文代表作3篇，欢迎加入！
开设课程
本科生课程：《工程测试技术基础》 研究生课程：《微纳测试技术》 《椭偏测量学概论》
科研项目
[1] 国家自然科学基金重点项目，52130504，EUV光刻掩模缺陷原波长叠层衍射检测理论与方法研究，2022-2026，300万元，在研，主持。 [2] 国家自然科学基金重大科研仪器研制项目，51727809，高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究，2018-2022，701万元，在研，主持。 [3] 国家科技重大专项子课题，2017ZX02101006-004，套刻误差光学测量技术研究，2017-2020，742万元，已结题，主持。 [4] 国家杰出青年科学基金，51525502，机械测试理论、方法与技术，2016-2020，400万元，已结题（结题优秀），主持。 [5] 国家自然科学基金面上项目，51475191，基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法，2015-2018，85万元，已结题，主持。 [6] 湖北省自然科学基金创新群体项目，2015CFA005，纳米光学测量技术与仪器创新群体，2015-2017，60万元，已结题，主持。 [7] 国家科技重大专项子课题，2012ZX02701001-004，基于模型的光学临近校正技术研究，2012-2014，135万元，已结题，主持。 [8] 国家重大科学仪器设备开发专项，2011YQ160002，宽光谱广义椭偏仪设备开发，2011-2014，3979万元，已结题（首批验收），主持。 [9] 国家自然科学基金重大研究计划培育项目，91023032，基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究，2011-2013，50万元，已结题，主持。 [10] 国家自然科学基金面上项目，50775090，高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究，2008-2010，34万元，已结题，主持。 [11] 教育部新世纪优秀人才支持计划，NCET-06-0639，MEMS结构实验模态分析理论与方法，2007-2009，50万元，已结题，主持。 [12] 国家863计划项目，2006AA04Z325，高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备，2006-2008，69万元，已结题，主持。
论文专着与专利
[1] J. Zhu, J. Liu, T. Xu, S. Yuan, Z. Zhang, H. Jiang, H. Gu, R. Zhou, S. Liu, "Optical wafer defect inspection at the 10 nm technology node and beyond," Int. J. Extrem. Manuf. 4, 032001 (2022). [2] H. Gu, H. Jiang, X. Zhang, S. Liu, "Superachromatic polarization modulator for stable and complete polarization measurement over ultra-wide spectral range," Opt. Express 30, 15113-15133 (2022). [3] M. Fang, H. Gu, B. Song, Z. Guo, and S. Liu, "Thickness and layer stacking order effects on complex optical conductivity and exciton strength of few-layer graphene,” ACS Appl. Nano Mater. 5, 1864-1872 (2022). [4] M. Fang, H. Gu, B. Song, Z. Guo, and S. Liu, "Thickness scaling effects on the complex optical conductivity of few-layer WSe2 investigated by spectroscopic ellipsometry," Adv. Photon. Res. 2, 2100299 (2022). [5] S. Liu, X. Chen, T. Yang, C. Guo, J. Zhang, J. Ma, C. Chen, C. Wang, C. Zhang, and S. Liu, "Machine learning aided solution to the inverse problem in optical scatterometry," Measurement 191, 110811 (2022). [6] L. Zhang, J. Liu, H. Jiang, and S. Liu, "Concentric ring structure on the front surface of fused silica induced by a focused femtosecond pulse," Precision Eng. 74, 242-246 (2022).? [7] Z. Jiang, S. Zhang, J. Liu, Q. Li, H. Jiang, and S. Liu, "Error analysis for repeatability enhancement of a dual-rotation Mueller matrix ellipsometer," Front. Phys. 9, 820552 (2022). [8] X. Zhao, H. Gu, L. Chen, and S. Liu, "Optical model and optimization for coherent-incoherent hybrid organic solar cells with nanostructures," Nanomaterials 11, 3187 (2021). [9] S. Sheng, X. Chen, C. Chen, J. Zhuang, C. Wang, H. Gu, and S. Liu, "Eigenvalue calibration method for dual rotating-compensator Mueller matrix polarimetry," Opt. Lett. 46, 4618-4621 (2021). [10] C. Chen, X. Chen, C. Wang, S. Sheng, L. Song, H. Gu, and S. Liu, "Imaging Mueller matrix ellipsometry with sub-micron resolution based on back focal plane scanning," Opt. Express 29, 32712-32727 (2021). [11] C. Wang, X. Chen, C. Chen, S. Sheng, L. Song, H. Gu, H. Jiang, C. Zhang, and S. Liu, "Reconstruction of finite deep sub-wavelength nanostructures by Mueller-matrix scattered-field microscopy," Opt. Express 29, 32158-32168 (2021). [12] L. Zhang, J. Liu, W. Gong, H. Jiang, and S. Liu, "Diffraction based single pulse measurement of air ionization dynamics induced by femtosecond laser," Opt. Express 29, 18618-18627 (2021). [13] M. Fang, Z. Wang, H. Gu, B. Song, Z. Guo, J. Zhu, X. Chen, C. Zhang, H. Jiang, and S. Liu, "Complex optical conductivity of Bi2Se3 thin film: Approaching two-dimensional limit," Appl. Phys. Lett. 118, 191101 (2021). [14] S. Hou, Z. Guo, J. Yang, Y. Liu, W. Shen, C. Hu, S. Liu, H. Gu, and Z. Wei, "Birefringence and dichroism in quasi-1D transition metal trichalcogenides: Direct experimental investigation," Small 17, 2100457 (2021). [15] B. Song, H. Gu, M. Fang, Z. Guo, Y.Ho, X. Chen, H. Jiang, and S. Liu, "2D Niobium-doped MoS2: Tuning the exciton transitions and potential applications," ACS Appl. Electron. Mater. 3, 2564-2572 (2021). [16] Z. Guo, H. Gu, M. Fang, B. Song, W. Wang, X. Chen, C. Zhang, H. Jiang, L. Wang, and S. Liu, "Complete dielectric tensor and giant optical anisotropy in quasi-one-dimensional ZrTe5," ACS Mater. Lett. 3, 525-534 (2021). [17] B. Song, J. Hou, H. Wang, S. Sidhik, J. Miao, H. Gu, H. Zhang, S. Liu, Z. Fakhraai, J. Even, J. Blancon, A. Mohite, and D. Jariwala, "Determination of dielectric functions and exciton oscillator strength of two-dimensional hybrid perovskites," ACS Materials Lett. 3, 148-159 (2021). [18] J. Zhu, N. Zhao, S. Liu, S. Wei, and R. Zhou, "Toward new forms of particle sensing and manipulation and 3D imaging on a smartphone for healthcare applications," Adv. Photon. Res. 1, 2100106 (2021). [19] K. Zhou, K. Zhang, J. Liu, Y. Liu, S. Liu, G. Cao, and J. Zhu, "An imbalance aware lithography hotspot detection method based on HDAM and pre-trained GoogLeNet," Meas. Sci. Tech. 32, 125008 (2021). [20] S. Yang, B. Qu, G. Liu, D. Deng, S. Liu, and X. Chen, "Unsupervised learning polarimetric underwater image recovery under nonuniform optical fields," Appl. Opt. 60, 8198-8205 (2021). [21] L. Zhang, J. Liu, Z. Zhong, H. Jiang, H. Gu, X. Chen, S. Liu, "Beam collapse and refractive index changes inside fused silica induced by loosely focused femtosecond laser," J. Opt. 23, 075402 (2021). [22] M. Wang, F. Liu, H. Jiang, and S. Liu, "Effective medium approximation based interpretation for Mueller matrix spectra of polydimethylsiloxane gratings," J. Opt. 23, 025403 (2021). [23] C. Feng, S. Liu, J. Li, M. Li, S. Cheng, C. Chen, T. Shi, and Z. Tang, "Molecular understanding of electrochemical–mechanical responses in carbon-coated silicon nanotubes during lithiation," Nanomaterials 11, 564 (2021). [24] L. Yao, Z. Zeng, C. Cai, P. Xu, H. Gu, L. Gao, J. Han, X. Zhang, X. Wang, X. Wang, A. Pan, J. Wang, W. Liang, S. Liu, C. Chen, and J. Tang, "Strong Second- and Third-Harmonic Generation in 1D Chiral Hybrid Bismuth Halides," J. Am. Chem. Soc. 143, 16095-16104 (2021). [25] K. Zheng, H. Wang, P. Xu, H. Gu, B. Tu, W. Wang, S. Liu, and Z. Fu, "Effect of nitrogen content on optical properties of transparent γ-AlON polycrystalline ceramics," J. Eur. Ceram. Soc. 41, 4319-4326 (2021). 完整论文与专利列表，详见：http://nom.mse.hust.edu.cn/Publications.htm
荣誉获奖
[1] 国家杰出青年科学基金获得者 [2] 国家科技创新领军人才 [3] 湖北省自然科学基金创新群体负责人 [4] 教育部新世纪优秀人才 [5] 华中科技大学十佳青年教工 [6] 日内瓦国际发明金奖 [7] 湖北省技术发明一等奖
Copyright ? 911制品厂麻花 版权所有
本网站所使用的方正字体由方正电子免费公益授权
学院微信公众号