陈修国

师资队伍

911制品厂麻花 - 师资队伍 - 教师名录 - 单位列表 - 机械电子信息工程系 - 正文

陈修国教授

电　　话027-87558045

邮　　箱xiuguochen@hust.edu.cn

办公地点

个人主页

个人介绍

       陈修国（Chen Xiuguo, Professor），教授、博士生导师，国家优秀青年科学基金获得者。2013年6月博士毕业于华中科技大学机械电子工程专业，同年进入华中科技大学材料学院博士后流动站，2016年6月出站并留校工作。2016年12月至2018年8月期间，作为日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员赴日本东北大学进行合作交流。
       主要从事光学纳米测量技术与仪器，集成电路(IC)制造在线测量技术与装备，先进仪器研制与新型光电、能源材料表征测量等方面的研究工作。近年来，作为负责人主持国家自然科学基金4项，作为骨干人员参与国家自然科学基金重大科研仪器研制项目、首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目10余项。申请和授权国际国内发明专项30余项，在Appl. Phys. Lett.、Opt. Express、Opt. Lett.等期刊发表SCI论文80余篇。曾获上银优秀机械博士论文奖、湖北省自然科学优秀学术论文一等奖、日内瓦国际发明金奖、湖北省技术发明一等奖、华中科技大学“学术新人奖”等荣誉。
       课题组主页：http://nom.mse.hust.edu.cn/

研究方向

1. 面向集成电路IC制造的纳米测量技术与装备
面向集成电路(IC)、有机显示(OLED)、光伏太阳能(PV)、柔性电子制造中的工艺控制与良率管理，研究纳米薄膜、纳米结构三维形貌、套刻误差(overlay)等测量新原理与新方法，解决IC制造纳米测量装备中的“卡脖子”技术难题。

2. 先进仪器研制与新型光电、能源材料表征测量
研制宽光谱椭偏仪、高分辨成像椭偏仪、快照式椭偏仪等新型椭偏仪器，以及小角X射线散射仪(SAXS)、X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线成像仪器，实现石墨烯、过渡金属硫族化合物、黑磷、硅烯等新型二维材料，以及新型半导体光电材料与能源材料的电学、光学、力学等物理特性表征测量。

开设课程

本科生课程：《机电控制与检测（一）》
                   《数据库技术及应用》
研究生课程：《椭偏测量学导论》

科研项目

承担的科研项目：
1.国家自然科学基金优秀青年科学基金，52022034，纳米测量技术与仪器，2021-2023，在研，主持
2.国家自然科学基金面上项目，62175075，快照式成像椭偏测量原理与方法研究，2022-2025，在研，主持
3.国家自然科学基金面上项目，51775217，基于离焦扫描穆勒显微镜的纳米结构缺陷检测理论与方法研究，2018-2021，在研，主持
4.国家自然科学基金青年基金，51405172，纳米结构几何参数广义成像椭偏测量理论与方法研究，2015-2017，已结题，主持
5.湖北省重点研发计划重点项目，2020BAA008，复杂IC纳米结构三维形貌测量关键技术研究，2020-2022，在研，主持
6.湖北省自然科学基金面上项目，2018CFB605，基于层析穆勒矩阵散射仪的三维纳米结构测量理论与方法研究，2018-2019，已结题，主持
7.国家自然科学基金重大科研仪器研制项目，51727809，高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究，2018-2022，在研，参与
8.国家科技重大专项子课题，2017ZX02101006-004，套刻误差光学测量技术研究，2017-2020，在研，参与

论文专着与专利

1.S. Sheng, X. Chen*, C. Chen, J. Zhuang, C. Wang, H. Gu, and S. Liu, “Eigenvalue calibration method for dual rotating-compensator Mueller matrix polarimetry,” Opt. Lett. 46, 4618-4621 (2021)

2.C. Wang, X. Chen*, C. Chen, S. Sheng, L. Song, H. Gu, H. Jiang, C. Zhang, and S. Liu, “Reconstruction of finite deep sub-wavelength nanostructures by Mueller-matrix scattered-field microscopy,” Opt. Express 29, 32158-32168 (2021)

3.C. Chen, X. Chen*, C. Wang, S. Sheng, L. Song, H. Gu, and S. Liu, “Imaging Mueller matrix ellipsometry with sub-micron resolution based on back focal plane scanning,” Opt. Express 29, 32712-32727 (2021) [Editors’ Pick]

4.S. Yang, B. Qu, G. Liu, D. Deng, S. Liu, and X. Chen*, “Unsupervised learning polarimetric underwater image recovery under nonuniform optical fields,” Appl. Opt. 60, 8198-8205 (2021) [Spotlight on Optics]

5.C. Wang, X. Chen*, H. Gu, H. Jiang, C. Zhang, and S. Liu, “On the limits of low-numerical-aperture imaging scatterometry,” Opt. Express 28, 8445-8462 (2020)

6.H. Gu, X. Chen*, H. Jiang, Y. Shi, and S. Liu, "Wide field-of-view angle linear retarder with ultra-flat retardance response," Opt. Lett. 44, 3026-3029 (2019).

7.X. Chen*, J. Liao, H. Gu, Y. Shi, H. Jiang, and S. Liu, "Proof of principle of an optical Stokes absolute roll-angle sensor with ultra-large measuring range," Sens. Actuat. A 291, 144-149 (2019).

8.C. Chen, X. Chen*, H. Gu, H. Jiang, C. Zhang, and S. Liu, "Calibration of polarization effect of a high-numerical-aperture objective lens with Mueller matrix polarimetry," Meas. Sci. Technol. 30, 025201 (2019).

9.Z. Yang, X. Chen*, H. Jiang, and S. Liu, "In-line wavefront aberration adjustment of a projection lens for a lithographic tool using the dominant mode method," Appl. Opt. 58, 4176-4184 (2019).

10.H. Gu, X. Chen*, Y. Shi, H. Jiang, C. Zhang, P. Gong, and S. Liu, “Comprehensive characterization of a general composite waveplate by spectroscopic Mueller matrix polarimetry,” Opt. Express 26, 25408-25425 (2018).

完整论文列表，详见课题组网站。

荣誉获奖

1.日本学术振兴会外国人特别研究员
2.华中科技大学学术新人奖
3.2019年湖北省技术发明一等奖（排名2）
4.2020年度华中科技大学重大学术进展（排名2）
5.湖北省第十六届自然科学优秀学术论文一等奖
6.华中科技大学优秀博士后
7.第四届上银优秀机械博士论文奖

911制品厂麻花

师资队伍

陈修国教授

个人介绍

研究方向

开设课程

科研项目

论文专着与专利

荣誉获奖

友情链接

关注我们

911制品厂麻花

师资队伍

陈修国 教授

个人介绍

研究方向

开设课程

科研项目

论文专着与专利

荣誉获奖

友情链接

关注我们

陈修国教授

论文专着与专利